Leistungszentrum »Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik«MEMS-basierte mikromechanische Ultraschallwandler (MUT) haben gegenüber am Markt etablierten Wandlern, die Piezo-Keramiken und Kompositverbindungen nutzen, entscheidende Vorteile. Die sehr kleinen und kostengünstig herstellbaren MUT-Bauelemente ermöglichen eine Mehr-Kanal Arrayanordnung und ein flexibles Frequenzdesign für eine optimale Abstimmung zwischen Abstand und Empfindlichkeit.
Mit der Plattform für MUT-Wandler trägt das Leistungs-/Transferzentrum zur weiteren Entwicklung und Vermarktung MEMSbasierter Ultraschallwandler bei. Das Angebot reicht von der Integration dieser Technologie in kompakte Sensorsysteme über die Erarbeitung von Fertigungsprozessen bis hin zur Vermarktungsunterstützung in unterschiedlichen Zielmärkten.
Mögliche Anwendungsfelder sind die Fabrikautomation, Automobil- und Medizintechnik. So können MUT-Systeme für bildgebende Ultraschallverfahren mit höchster Auflösung in der endoskopischen Diagnostik genutzt werden oder für fälschungssichere Fingerabdrucksensoren. Industrieroboter und autonome Fahrzeuge könnten befähigt werden, ihre Umgebung inklusive Gesten von Personen zu erfassen und mit ihr zu interagieren. Die extrem kompakte Bauform der MUT-Wandler erlaubt ferner eine Integration in Smartphones und Wearables.
PROJEKTDETAILS
Projektidee
- - Plattform für miniaturisierte und integrierte MEMS-Ultraschallwandler zur Erschließung neuer Anwendungsfelder
Entwicklungsziele
- - Bereitstellung von Technologien für hochkanalige MEMS-Ultraschallwandler
- - Design-Tools für applikationsspezifische Anpassungen
Nutzen/ Mehrwert
- - Zugang zur nächsten Generation miniaturisierter, integrierter MEMS-Ultraschallsystemen
- - Verfügbarkeit der gesamten Wertschöpfungskette vom Design bis zur Pilot-Fertigung
Zielapplikation
- - Medizinische Bildgebung in Diagnose und Therapie
- - Hochauflösende Fingerabdrucksensorik
- - Gestensteuerung