Forschungsprojekt »Testwafer für Wafer-basierte Technologien und Produkte« (Testwafer Hub)

Die Entwicklung von neuen Produkten auf Basis einer 300 mm-Siliziumwafer-Technologie erfordert erhebliche Prozessentwicklungen unter Einhaltung hoher technologischer Standards und ist daher, wenn sie in einer Fertigungslinie durchgeführt werden, kosten- und zeitintensiv. Hier können in vielen Fällen realitätsnahe 300-mm-Testwafer und -Prozessmodule, die in einer qualifizierten Entwicklungs- und Testumgebung die Erarbeitung neuer kritischer Technologieschritte und Bauelementstrukturen ermöglichen, Abhilfe schaffen.

Vergleichbares gilt für die Supplier-Industrie, welche Technologieanlagen sowie Roh- und Hilfsstoffe für die Fertigung von Silizium-Mikroelektronik bereitstellt. Auch diese benötigt einen Zugang zu einer möglichst realitätsnahen Testumgebung in welcher neue Produkte vorqualifiziert werden können.

Ziel des Projekts Testwafer Hub ist die Schaffung einer professionalisierten Umgebung für das Angebot von 300-mm-Testwafern. Durch die engmaschige Verknüpfung von Prozesstechnologieentwicklung, applikationsspezifischen Know-how und Analytik, die am Fraunhofer IPMS und IZM-ASSID verfügbar sind, werden Synergien genutzt, die es ermöglichen anspruchsvolle strukturierte Testvehikel und Testsubstrate zu realisieren und anzubieten.

Die Technologien kommen dabei zum einen vom Front-End-of-Line (FEoL), in dem High-k- und epitaktische Si(Ge)-Schichten angeboten werden, zum anderen vom Back-End-of-Line (BEoL) und Packaging, in denen die Metallisierung vor allem mittels Kupfer und dessen Einbettung eine Rolle spielt.

 

PROJEKTDETAILS

Projektidee

  • - Unterstützung von Kunden bei Prozess und Produktentwicklungen durch das Angebot von Testwafern
  • - Hierfür gemeinsame Nutzung komplementärer Fähigkeiten und Ressourcen am IZM-ASSID und IPMS

Entwicklungsziele

  • - Erweiterung des Portfolios an aktuellen Testvehikeln
  • - Bessere Vernetzung der Hardware und Logistik-Ressourcen
  • - Schaffung einer gemeinsamen Vermarktungsplattform

Nutzen/ Mehrwert

  • - Gemeinsames Angebot von IZM-ASSID und IPMS zur Prozessentwicklung unter Verwendung komplementärer Prozessmodule
  • - Abdeckung von FEoL und BEoL-Technologien mit einem Angebot aus einer Hand
  • - Ressourcen-Backup zur Absicherung der Lieferkette und Qualitätskontrolle

Zielapplikation

  • - Testwafer für die Entwicklung von Materialien und Prozesse für 300-mm-Silicon-Fabs
  • - Entwicklungsangebote für Material- und Prozessforschung an 300-mm-Testwafern
  • - Vernetze Technologieentwicklung von Frontend- und Backend für kürzere Entwicklungszeiten