Leistungszentrum

Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik in Dresden und Chemnitz

Leistungszentrum »Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik«

Das Leistungszentrum »Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik«, eingebettet in den Mikroelektronik-Standort Sachsen,  vereint die entlang der Wertschöpfungskette für Produkte der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik angeordneten Kompetenzen der vier Fraunhofer-Institute IPMS, ENAS, IIS-EAS und IZM-ASSID sowie der Universitäten bzw. Hochschulen TU Dresden, TU Chemnitz und HTW Dresden. 

Mit dem Leistungszentrum wurde eine institutsübergreifende Plattform für die Kernkompetenzen Systemdesign, Komponenten & Fertigungstechnologien, Systemintegration sowie Zuverlässigkeitsbewertung geschaffen. Diese Kernkompetenzen werden genutzt um insbesondere die folgenden FuE-Themen hoher Industrierelevanz zu bearbeiten: 

  • Neue Materialien für neue Funktionalitäten
  • Modulare heterogene Wafersysteme
  • Plattform für Ultraschallsensorik
  • Integrierte Spektrometer mit Nanostrukturen / Optische Systeme
  • Sensoren/Aktoren in Werkzeugen und Maschinen

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