| Uhrzeit |
Programmpunkt |
Referent:in |
| 9:00 – 9:15 |
Begrüßung |
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| Keynotes |
| 9:15 – 9:45 |
Highlights aus der aktuellen AMA-Trendstudie zur Sensorik
- Vorstellung und Bewertung sensorischer Konzepte und aktueller Trends
- Konkrete Beispielapplikationen wie Gassensorik (inkl. Wasserstoff) und die Anwendung von Sensorik für Predictive Maintenance
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Prof. Christine Ruffert, Fraunhofer IPMS/iCampµs |
| 9:45 – 10:15 |
Technologische Prozesse für M(O)EMS
- Erläuterung des Entwicklungszyklus vom Design bis zum finalen Test
- Siliziumstrukturierung als Kernprozess
- Technologien (SOI, Cavity-SOI, poly-Si, piezoelektrisch) sowie Verkapselung
- Verdeutlichung an ausgewählten Beispielanwendungen
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Prof. Karla Hiller, Fraunhofer ENAS |
| 10:15 – 10:45 |
Pause und Diskussion |
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| Session Inertial & Optik |
| 10:45 – 11:05 |
MEMS Drehratensensoren: Innovationen auf Mikrometer-Ebene
- Arbeitsprinzip eines MEMS Drehratensensors
- Beispiele zum Einsatz von Drehratensensoren und Beispiele zu kommerziell verfügbaren Sensoren
- Einordnung von Drehratensensoren in Performance-Klassen
- Entwicklung in Richtung High-Performance-Drehratensensor am Beispiel eines Tuning-Fork-Gyros
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Dr. Roman Forke, Fraunhofer ENAS |
| 11:05 – 11:25 |
Mikrospiegelarray-Flächenlichtmodulatoren – Maßgeschneiderte Phasenmodulation für Holografie, Medizintechnik und Quantencomputing
- Einführung: Was sind Flächenlichtmodulatoren (SLMs)?
- Universelle Eigenschaften der am Fraunhofer IPMS entwickelten SLMs
- Anwendungsbeispiele & aktuelle Entwicklungstrends (Holografie, Medizintechnik, Quantencomputing, …)
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Dr. Dimitrios Kourkoulos, Fraunhofer IPMS |
| 11:25 – 11:45 |
MEMS Mikroscannerspiegel – Applikationsspezifische Strahlpositionierung für Medizin, LIDAR, Spektroskopie und Space
- Bauformen und Eigenschaften von MEMS Scannern (resonant, quasi-statisch,2D-Raster, 2D-Vektor-Scanner)
- Anwendungsbeispiele & aktuelle Entwicklungen (Biomedizin, LIDAR, Spektroskopie)
- Einführung in MEMS-on-PIC für Kryptographie und Optische Schalter
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Dr. Thilo Sandner, Fraunhofer IPMS |
| 11:45 – 12:05 |
MEMS in IR-Sensoren und Spektroskopie |
Dr. Eric Müller, Infratec GmbH |
| 12:05 – 13:00 |
Mittagspause |
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| Session Akustik |
| 13:00 – 13:20 |
Akustik mit elektrostatischen MEMS: Vom Konzept zur praktischen Umsetzung
- Überblick über kapazitive Ultraschallwandler (CMUT)
- Erläuterung von Besonderheiten der CMUT Technologie
- Beispielanwendungen in Medizintechnik oder Zustandsüberwachung
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Dr. Sandro Koch, Fraunhofer IPMS |
| 13:20 – 13:40 |
Piezoelektrische mikromechanische Ultraschallwandler
- Überblick über piezoelektrische Ultraschallwandler (PMUT)
- Eigenschaften und Vergleich mit komplementären Ultraschall-Technologien
- Anwendungsbeispiele & aktuelle Entwicklungstrends (Optoacoustic imaging, Elastographie, …)
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Dr. Chris Stöckel, Fraunhofer ENAS |
| 13:40 – 14:00 |
MEMS statt Piezokeramik? Motivation, Unterschiede und Herausforderungen beim Einstieg in eine neue Wandlertechnologie
- Ultraschallmesstechnik-Portfolio bei SONOTEC
- Vergleich der etablierten Piezokeramik-Technologie im Vergleich zu MEMS: Motivation und Ausblick
- Konkrete Anforderungen und Herausforderungen an Hand von Beispielen (Luftgekoppelte Ultraschallprüfung, Schwingungsaufnehmer für die VIH)
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Martin Fuchs, SONOTEC GmbH |
| Interaktiver Austausch |
| 14:00 – 14:30 |
Interaktive Pause mit Demonstratoren und Postern |
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| 14:30 – 15:30 |
World Café |
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| 15:30 – 15:45 |
Pause |
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| 15:45 – 16:30 |
Zusammenfassung und Abschlussdiskussion |
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Leistungszentrum »Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik«