Technologien

Die Partner des Leistungszentrums Mikro/Nano bilden die gesamte Wertschöpfungskette der Mikro-/Nanoelektronik und Mikrosystemtechnik vom Design bis zu Pilotfertigung und Test ab. Mit dem reichhaltigen Infrastrukturangebot auf Industrieniveau sind wir der ideale F&E-Partner für Ihre Produktentwicklung und Vorlaufforschung. Mit der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) sind wir darüber hinaus eingebettet in ein größeres Netzwerk von F&E-Dienstleistungen, die die gesamte Bandbreite der Elektronikforschung in Deutschland abdecken.

Zentrale Forschungsthemen des Leistungszentrums Mikro/Nano

Mit dem Leistungszentrum wurde eine institutsübergreifende Plattform für die Kernkompetenzen Systemdesign, Komponenten & Fertigungstechnologien, Systemintegration sowie Zuverlässigkeitsbewertung geschaffen. Diese Kernkompetenzen werden genutzt, um insbesondere die folgenden FuE-Themen hoher Industrierelevanz zu bearbeiten:

 

Materialien & Prozesse

  • Testwafer für Prozessentwicklung in professioneller Reinraumumgebung
  • FEoL- und BEoL-Technologien & Analytik aus einer Hand
 

Integration heterogener Systeme

  • Sehr geringe Aufbauhöhe (<500 μm) mit modularem Aufbau
  • Entwicklung von Wafer-Level-Packages
 

Sensoren und Aktoren

  • Materialien, Prozesse, Bauteile, Skalierung
  • Optisch, akustisch, chemisch & biologisch
  • Analytik und Qualitätssicherung
 

Integrierte vernetzte Multisensorik

  • Sensorkombination und Datenfusion
  • Von der Konzeption bis zum System
  • Validierung in Reallabor-Testumgebung
 

Quantentechnologien

  • Plattformübergreifende Kompetenz für Computing, Kommunikation und Sensorik
  • Fokus auf Skalierbarkeit
 

Neuromorphic Computing

  • Bauelemente und Technologien
  • Schaltungen und Architekturen

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Kontakt

Dr. Christian Körner

Leiter der Geschäftsstelle Leistungszentrum für die Mikro-/Nanoelektronik

Fraunhofer IPMS
Maria-Reiche-Str. 2, 01109 Dresden

Telefon +49 351 8823-1515