Technologien

Die Partner des Leistungszentrums Mikro/Nano bilden die gesamte Wertschöpfungskette der Mikro-/Nanoelektronik und Mikrosystemtechnik vom Design bis zu Pilotfertigung und Test ab. Mit dem reichhaltigen Infrastrukturangebot auf Industrieniveau sind wir der ideale F&E-Partner für Ihre Produktentwicklung und Vorlaufforschung. Mit der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) sind wir darüber hinaus eingebettet in ein größeres Netzwerk von F&E-Dienstleistungen, die die gesamte Bandbreite der Elektronikforschung in Deutschland abdecken.

Zentrale Forschungsthemen des Leistungszentrums

Mit dem Leistungszentrum wurde eine institutsübergreifende Plattform für die Kernkompetenzen Systemdesign, Komponenten & Fertigungstechnologien, Systemintegration sowie Zuverlässigkeitsbewertung geschaffen. Diese Kernkompetenzen werden genutzt, um insbesondere die folgenden FuE-Themen hoher Industrierelevanz zu bearbeiten:

 

Materialien & Prozesse für 300 mm-Wafer

  • Testwafer für Prozessentwicklung in professioneller Reinraumumgebung
  • FEoL- und BEoL-Technologien & Analytik aus einer Hand
 

Dünne, heterogene Sensorsysteme

  • Sehr geringe Aufbauhöhe (<500 μm) mit modularem Aufbau
  • Entwicklung von Wafer-Level-Packages
 

Mikromechanische Ultraschallwandler

  • Für Abstandsmessung, Durchflussmessung, Bildgebung und vieles mehr
  • Als Eval-Kit für Ihre Anwendung erhältlich
 

Strukturintegrierte Sensorik

  • Drahtlose Kommunikation & Energieversorgung (Bsp. Sensorring)
  • Flexible Bauform

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Kontakt

Dr. Christian Körner

Leiter der Geschäftsstelle Leistungszentrum für die Mikro-/Nanoelektronik

Fraunhofer IPMS
Maria-Reiche-Str. 2, 01109 Dresden

Telefon +49 351 8823-1515